公司以建设第5代工业级原子簇开发装置为技术核心，构建国际原子簇材料研发体系和原子簇新材料基因库，实现核心技术在科研和泛半导体材料及装备领域的产业化。目前公司拥有1000多平米万级洁净车间、400多平米千级洁净车间。产业化主要包括原子簇材料、高端涂层、原子层沉积/刻蚀设备、高精密质谱/天平/传感等，涵盖新材料、先进制造与精密测量等应用领域。

公司主要投资人北京中关村科学城公司由中国科学院发起设立，历经20多年，逐步改制发展成为大型股份制投资集团，投资领域涉及高新技术、智能制造、金融保险、房地产等，已成功孵化多家上市公司。