深圳扩维原子科技有限公司自主研发的原子团簇束流技术，通过“原子产生+气相凝聚+质谱分选”的物理气相方法，可普适合成多种团簇（团簇尺寸：单原子~直径10 nm； 材料种类包括：气体、金属、非金属、合金、化合物等）。 该技术不受化学反应路径能量势垒的约束，可实现元素、原子数、原子排列结构及束流能量四个维度的精确调控。 一方面，可以用原子搭积木，解决新材料合成的“必然性”问题； 另一方面，可以用束流微加工，解决半导体制造的“卡脖子”问题。
深圳扩维原子科技有限公司的核心团队来自美国纽约大学、英国伯明翰大学、英国Teer Coatings公司，团队长期致力于原子团簇束流技术与设备的研发，在国际和国内累计交付设备超20套，产品线广泛覆盖实验室科研和工业化量产领域，旗舰产品包括：标准质量选择团簇束流设备、高分辨质量选择团簇束流设备、全尺寸高分辨质量选择团簇束流设备、多元质量选择团簇束流设备等。
